近年来，随着电子工业的飞速发展，电子气体在半导体行业中扮演了越发重要的角色。这些精细而不可或缺的气体被称为电子气体，在半导体生产过程中的每一个环节，无论是芯片的生长、器件的封装还是其他关键步骤，都离不开这些高纯洁度的气体。电子气体所占总成本比例虽然不高，但仅占5%到6%，却对最终产品质量产生深远影响。

根据其化学性质和应用领域，可将电子气分为纯净级、高纯级以及专门用于半导体制造的一系列特种品种。其中，超大规模集成电路及相关先进技术领域更是需要高纯度氧、氮、氢等特殊气体。在外延、掺杂和刻蚀工艺中使用的是一系列复杂化合物，如氟碳化合物，这些都需精确控制以保障生产过程中的稳定性。

例如，以氮作为例子，它在清洗手套箱或半导体室时起到了至关重要作用。通过驱逐空气并形成缺氧环境，可以有效防止微生物侵入，从而保证整个制程无菌状态。但若在供应氮过程中出现泄漏，不仅会造成严重的人身安全问题，还可能导致设备损坏甚至生产线停顿。

由于“保护型”环境通常无色无味，员工难以区分是否有泄漏，因此安装氧气监测系统成为必要。这项系统能即时探测周围环境中的氧含量，当任何潜在危险情况发生时，即使是一点点泄漏，也能够发出警报。此外，还有各种先进仪器可供选择，比如南方实验室（Southland）提供的一款基于微处理单元设计的小型氧变送器OMD-150，以及采用世界领先燃料电池传感技术的大容量分析仪OMD507，其卓越性能包括准确度高、维护简单等优点，为用户提供了极大的便利与保障。