在真空绝热板的生产过程中电容式微型真空传感器扮演着至关重要的角色它们如同守护者般紧密监测每一个细微变

在追求节能的道路上,真空绝热板成为了科学技术进步的一个重要标志。这种材料通过最大限度地提高内部真空度来隔绝热传导,从而实现了保温和节能的双重效益。在生产过程中,确保真空质量至关重要,但由于材料不能开孔且腔体狭窄,普通测量方法无法应用。这时,一种基于电容式微型真空度检测系统登场,它利用PIC系列单片机对真空进行实时测量。

该系统由电容式微型真空传感器、CVC测试系统电路、信号放大电路和PIC16F87X系统工作电路四部分组成。其中,电容式微型真空传感器是核心部件,其结构包括玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片(上电极)以及密封用的玻璃,这使得两极板之间的距离发生变化,以此作为测量基础。

实验数据表明,该系统能够达到10-2Pa的精度,为满足实际需求提供了坚实保障。通过将输出信号V′y与初始条件相比较,可以计算出所需的变压比,从而确定具体的温度值。此外,该系统还具有良好的抗干扰能力,即便是在噪声较大的环境中,也能够准确无误地完成测量任务。

总结来说,本文介绍了一种基于MEMS技术制作的小巧、高灵敏度和可批量制造的微型真空传感器,这项技术不仅为提升现有产品性能提供了新的解决方案,而且在产业化方面也有巨大的潜力。随着科技不断发展,我们相信这项创新将会推动更多行业向着更加节能环保方向迈进,为人类社会贡献力量。

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