近年来,随着电子工业的飞速发展,电子气体在半导体行业中扮演了越发重要的角色。这些精细而不可或缺的气体被称为电子气体,在半导体生产过程中的每一个环节,无论是芯片成长还是最终器件封装,都离不开它们的贡献。值得一提的是,电子气体仅占ic材料总成本的5%~6%,但其纯度对芯片质量影响深远。
电子气体按种类分为三大类:纯气、极高纯气和专用半导体特种气。其中,每一种都有不同的纯度等级和应用场景,从常规使用到特殊工艺需求,再到尖端科技领域,这些分类让人印象深刻。
尤其是那些用于超大规模集成电路和分离器件以及光电子领域的高纯氮、氧、氦和氩等,它们在确保环境无菌状态方面起到了至关重要的作用。而对于外延、掺杂和刻蚀工艺所需的一些特殊化合物,如氢化物、氟化物及碳化合物,其独特性质使它们成为不可或缺的一部分。
例如,我们可以看一下氮气如何在保证环境清洁性的同时,也带来了潜在危险。当它用于清洗手套箱或半导体室时,它能够有效地排除空气中的氧,形成缺氧状态,这对制造高品质半导體来说是一大利好。但如果发生泄漏,那么空中含有的氧将迅速减少,对工作人员造成生命威胁。
由于“保护性”质地多数无色无味,因此员工难以察觉泄漏。在这种情况下,安装氧 气监测仪变得至关重要,以确保当任何类型的大量泄漏发生时,可以立即发出警报,并通过如微量变送器或者微量分析仪来监测环境内真实存在的情况。
正是在这样的背景下,一些先进设备如美国Southland公司生产的小型、高效率且功能强大的OMD-150微处理型O2变送器,以及OMD507微量O2分析仪凭借其卓越性能,被广泛采用于各个半导体生产车间。这两款产品结合了世界领先级别燃料电池传感技术与智能控制系统,为用户提供了准确稳定且易于维护的手段。此外,由于它们设计上考虑到了功耗低小巧,同时拥有良好的使用寿命,使得这项技术也更加符合现代工业标准。