在追求节能的道路上，真空绝热板（Vacuum insulation panel）成为了电冰箱等设备节能的一个重要途径。这种技术通过最大限度地提高内部真空度来隔绝热传导，从而实现保温和节能的目的。然而，在生产过程中确保真空度的准确性是一个挑战。

一种基于电容式微型真空度检测系统被设计出来，以解决这一难题。这一系统利用PIC系列单片机对真空绝热板内的压力进行实时测量。实验结果显示，该系统能够达到10-2Pa的精度，这对于保证产品质量是完全足够的。

这款电容式微型真空传感器采用了硅膜片在压力的作用下产生变形，改变两极板之间距离，从而改变电容值作为测量基础。该传感器结构包含玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（上电极）和上层密封用的玻璃组件。此外，还有一个腔体用于存储气体，而另一个腔体则与外部环境相连。

此外，CVC测试系统中的带增量调制器可以获得可调节信号带宽和检测精度，并且能够有效地抑制噪声影响。在输出信号放大处理环节，我们使用了运算放大器以便更好地进行后期信号处理。此外，PIC16F87X工作电路使得整个系统更加高效。

通过测试，本系统可以在10-2～10-3Pa范围内准确测量真空度，并且输出与输入关系曲线呈现出良好的线性特性。这意味着该传感器性能出色，可以满足各种需要高精度测量的应用场景，如航空航天行业或医疗领域等。

总之，本文介绍了一种基于MEMS技术制作的小型化、高灵敏性的微型真空传感器，该传感器可实现10-2Pa以上的高精度测量，对于提升工程生产中的科学管理具有重要意义。此外，由于其制造工艺简单且成本较低，有很大的产业化潜力，为各行各业提供了新的可能性。