七星华创D07-11CM高气压气体流量计 D07-11CM 高气压气体流量计技术参数: 产品型号 D07-11CM 产品类型 高耐压型 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm 产品精度 ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) 响应时间 ≤10sec 工作温度范围 (5~45)°C 耐压 10MPa 密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon 输入输出信号 (0~5)VDC 电源 ±15V 阀类型 无阀 温度系数 - 无 - 零点飘移指标 - 无 - 电气连接 D sub 15 pins Male 工作压差范围 ＜0.02 MPa 漏率 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） 标准接头形式 双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4” 表面化学成分 - 无 - 表面粗糙度 - 无 - 抗电磁干扰 CE 重量 1Kg