导语：

介绍一种基于电容式微型真空度检测系统。该系统利用PIC系列单片机对真空绝热板进行实时测量，试验数据表明精度可达10-2Pa，完全满足测量的要求。

1 引言

随着科学技术的发展，建设节约型社会已经成为人们的共识，节能材料开始大量被使用。例如，电冰箱节能措施之一是靠加强绝热，其手段往往是加厚绝heat层。对于厚度相同的绝heat材料，导热系数越小，隔heat效果越好。对于电冰箱节能而言，加大隔heat层厚度，无疑会起到节能效果，却加大了电冰箱体积或减少了使用空间。因此寻找更低导热系数的绝heat材料，为电冰箱隔heat节能提供了新的途径。

近年来，一些发达国家率先在节energy建筑和冷藏设备等生产中使用真空绝heating板（Vacuum insulation panel），以达到節energy目的。这类VIP 真空absorbing board通过最大限度提高内部true vacuum度来隔离熱傳導，从而实现保温、節energy效益。在产品出厂检验时，该系统保证了产品质量与性能标准。

2 系统组成及原理

2.1 电容式微型true vacuum传感器

本传感器主要利用硅膜片在压力的作用下产生变形，使得两极板之间距离发生变化，从而使電容產生變化，以此作为測量基础。

2.2 CVC测试系統電路

本系統采用带增量调制器的電容一電壓轉換器，它能够获得可调节信号带宽和检测精度。

3 测量数据及分析

根据测量数据，可以得出10－2～10－3Pa范围内true vacuum与输出電壓之間關係曲线，如圖5所示。

4 结论

经测试，该True Vacuum传感器True Vacuum 度測定可達10-2Pa，更符合实际应用需求。此外，由于MEMS技術制作出的該傳感器具有體積小、靈敏性高和批量製作能力，因此有很大的产业化潜力，并且可以應用於航空航天、医疗等领域，对市场有一定的吸引力。

最后，我希望这篇文章能够为读者提供关于微型真空传感器及其在现代科技中的应用深入了解，让更多的人了解到这一切背后隐藏着复杂但又充满可能性的科技世界。如果你对这方面有兴趣或者想要探索更多相关信息，请继续关注我们的更新内容，我们将持续分享最新最前沿的一切！