在追求节能的道路上,真空绝热板成为了科学技术进步的一个重要标志。这种材料通过最大限度地提高内部真空度来隔绝热传导,从而实现了保温、节能的双重效益。在生产这些高性能材料时,确保其内部真空度达到预期标准是至关重要的一环。
电容式微型真空传感器正是为此目的量身定制的,它们能够准确测量和监控这些板块内的压力变化。这种传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片(上电极)以及上层密封用的玻璃组成。这一结构设计使得它具有高度灵敏性,并且能够精确检测到微小的压力变化。
系统中的CVC测试系统利用带增量调制器的电容一电压转换器,可以获得可调节的信号带宽和检测精度。这个系统不仅有效地抑制了噪声干扰,还能够提供稳定的输出信号。此外,通过PIC16F87X系统工作电路,这个设备能够自动进行数据采集并与外部设备进行通信。
实验结果显示,当真空度在10-2Pa至10-3Pa范围内时,该传感器可以准确测量出相应的真空值,并且与理论曲线吻合良好。这意味着该设备已经完全满足了对真空绝热板所需的精度要求。由于其体积小、灵敏度高和可批量制作等优点,这种微型传感器对于产业化有着巨大的潜力,并且有望应用于各种需要高精度测试的地方,如航空航天、高科技实验室等场所。